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半導(dǎo)體圓晶和玻璃表面缺陷檢查用光源的特點(diǎn)

發(fā)布時(shí)間:2022-09-26 點(diǎn)擊量:1724

半導(dǎo)體圓晶和玻璃表面缺陷檢查用光源的特點(diǎn)

    

高亮度鹵素光源設(shè)備是 一種宏觀觀察照明設(shè)備,用于檢測各種缺陷,
例如異物,劃痕,拋光不均勻,霧度和終成品表面上的打滑,這在半導(dǎo)體晶圓的加工過程中是費(fèi)力的工作和液晶基板.

檢查光源的特點(diǎn)

  1.樣品表面的照明度可達(dá)到400,000 Lx以上。

  2.由于使用鹵素?zé)糇鳛楣庠?,因此色溫高,幾乎沒有不均勻的照明,并且照明
    非常穩(wěn)定且清晰。

  3.通過使用冷鏡,可以將熱量的影響極大地
    降低到傳統(tǒng)鋁鏡的1/3 

  4.兩階段切換機(jī)制使您可以通過一次觸摸在高光觀察和低光觀察之間進(jìn)行切換
    。
    YP-150I ? ? ?照度范圍φ30YP-250I ? ?
    ?照度范圍φ60
   ?。╕P-250I可以從螺旋槳式風(fēng)扇和風(fēng)管式風(fēng)扇中選擇)。

檢查光源產(chǎn)品技術(shù)特性

高亮度鹵素射鏡


YP-150IYP-250I
照射范圍30mmφ60mmφ
照度≥ 400,000 lx
照射距離140mm220mm
光源鹵素?zé)?使用冷鏡)
燈型JCR15V150WELC24V250W
壽命50小時(shí)35 小時(shí)
色溫3,400K°
色調(diào)
環(huán)境溫度0~40℃
冷卻方式強(qiáng)制排氣
連接12φ20φ
尺寸100(W)×245(H)×116(D)mm120(W)×388(H)×130(D)mm
重量1.7 ㎏(17N)2.7 ㎏(27N)
輸入電壓AC100V 50/60HzAC100V 50/60Hz
功率200W350W
變化范圍AC5~12VAC10~22V
環(huán)境溫度0~40℃
冷卻方式自然強(qiáng)制排氣
尺寸140(W)×94(H)×185(D)mm135(W)×72(H)×260(D)mm
重量2.4 ㎏2 ㎏
其他輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq
(外加一插座)
輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq
(外加一金屬連接器)
腳踏開關(guān)線:3m
(底部金屬連接器)
輸入電線 :2m VCTF-電線 0.75sq
(外加一插座)
輸出電線 :2m VCTF-電線 1.25sq
(外加一金屬連接器)<span none"=""> 

日本山田光學(xué)YP-150I/250I高亮度鹵素射鏡  



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