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用于半導體行業(yè)的非接觸式激光測厚技術(shù)

發(fā)布時間:2021-07-14 點擊量:1314

用于半導體行業(yè)的非接觸式激光測厚技術(shù)

<使用>

半導體用晶圓(各種材料) 硅Si.GaAs 砷化鎵等,玻璃、金屬、化合物等的高精度非接觸式測厚(非接觸式測厚)

<特點>

1. 1. 通過空氣背壓法可以進行非接觸式測厚(非接觸式測厚),不會造成劃痕和污染等損壞
。不依賴于薄膜和顏色光澤等材料,可以輕松進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。在潮濕時可以進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
。即使是鏡面透明或半透明,也可以毫無問題地進行高精度的非接觸式厚度測量(非接觸式厚度測量)
由于采用上下測量噴嘴進行測量,因此
   可以準確測量“厚度",不受被測物體“滑行"引起的抬升的影響。
 ?。ā把┣?測量也可以作為選項(* 1))
6. 由于操作簡單,因此可以非常輕松地進行測量和校準(* 2)。

<測量原理>

精確控制上、下測量噴嘴的背壓,噴嘴定位使噴嘴與被測物體之間的間隙恒定,并與預先用基準規(guī)校準的值進行比較計算處理對被測物體進行測量操作,可精確計算厚度。

<性能>

  分辨率 0.1 μm
  重復精度 10 次重復 連續(xù)測量時的標準偏差 (1σ) 0.3 μm 或更小
  測量范圍 max. 10mm (* 3)
  供能電源 AC100V 50 / 60Hz 3A
            潔凈空氣 0.4MPa 20NL/min. (*4)

<基本配置>
標準的非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)是一組以下設(shè)備。
(1) 非接觸式測厚儀(非接觸式測厚儀)主體 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
②測量臺(安裝臺) ? ? ? ? 從附“表型"選擇 ?
? ? ? ? ? ? ?? 1 套③ 控制盒(分體型) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 套
④ 手動操作開關(guān)盒 ? ? ? ? ? ? ?· · · · · · 1套

⑤ 顯示器(7"彩色液晶觸摸屏)或用于測量控制的個人電腦??????????1套
⑥連接電纜?????????????????? ? ? ? 1 套
⑦ 校準規(guī)(指ding厚度) ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? 1 個
⑧ 測量控制的標準軟件 ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ? ?? ? ? ? ? ? ? ? ? ?
除上述以外,還可以根據(jù)用途從“選項一覽"中選擇選項?!?/span>



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